2023年11月15日上午,由学院、上海自主智能无人系统科学中心联合举办的智·信讲堂第61期在济人楼313会议室开讲。本次讲堂邀请中国科学院大学、中国科学院半导体研究所教授余金中作“从电子集成到光子集成”主题报告,由张皓教授主持。
首先,余金中教授介绍了电子和光子的特性与区别,并描述了摩尔定律的发展历程。从摩尔定律到延续摩尔,再到扩展摩尔,直至超越摩尔,光刻精度已经达到纳米精度,已到物理极限,电子集成寻求三维结构和新材料的突破。然后,他介绍了光子集成的概念、特性、平台以及光子集成的关键技术,包括衬底材料的选择、硅基同InP基的比较、异质结构的外延生长、键合技术、硅基光子器件以及光子器件的耦合封装等。接着,余金中教授介绍了Si3N4薄膜的特性,包括结构、折射率、波导损耗、工艺、临界厚度等,也介绍了几种最新的硅基光子芯片以及硅基光子集成路线。最后,余金中教授总结了信息技术的发展趋势,主要表现在材料异质化、尺寸微型化、器件集成化、速率高速化、功耗低能化、信息网络化、应用智能化。
报告结束后,余金中教授就电子集成和光子集成相关的问题与师生们进行了交流。他也根据自身经历勉励同学们要积极拓宽视野,努力探索、发现并解决新的科学问题。此次报告拓展了我校师生的视野,使大家领略到了科学家精神,增强了对电子集成与光子集成的认识与理解。(文/图 张皓 王云姣)